层流原理流量计和控制器产品规格:
l 产品型号:MFM:S系列,M系列,P系列; MFC:SC系列,MC系列
l 量程范围:0.5sccm~5000slpm
性能参数:
l 精度:±1.0%RD,±1.0%S.P.
l 重复精度:±0.2%F.S.
l 压力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100Kpa; Span:≤±0.2%F.S./100Kpa(基准100KPa(绝压))
l 温度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度20℃)
l 工作范围:1%~120%F.S.
l 响应时间:MFM≤100ms. ; MFC≤100ms
l 启动预热时间:1s
使用条件:
l 介质温度:-20℃~60℃
l 环境温度:-20℃~50℃
l 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
l 工作压力:0~1Mpa
l 耐压:1.5Mpa
l 供电电压:24V±20%
l 消耗电流:<150mA (<5V)
l 安装方式:任意角度
l 接气部材质:SUS304,SUS316L,航空铝材
l 进出口:管螺纹(内螺纹)
l 接气部密封材质:橡胶圈密封:氟橡胶
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层流原理流量计和控制器