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易度智能高可靠性质量流量控制器采用内部补偿型层流压差技术，可从根本上抑制MFC的零漂、温漂、压漂现象，流体在宽流量范围内仍旧保持层流运动，内置压力传感器和温度传感器，能充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，抗过载能力强，流量测控可靠稳定，几乎不会受到影响。
特征：
l 原理：层流压差式原理
l 便捷操作：可触屏点击输入设定流量，或者提供上位机软件设定流量。
l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应
l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示4种过程变量
l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，
l 可测控混合气体，内置混合气体设定功能，可自主编辑
l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。
l 可切换为流量计模式使用
产品规格：
l 产品型号：
SC系列-带触摸屏系列控制器，可触屏操作读取数据，方便工况现场使用，无需电脑，像手机一样方便。
MC系列：无屏幕系列控制器，可通过上位机软件设定流量、读取数据，适用配套用户，软件可同时测控16台流量计或控制器。
l 量程范围：0.5sccm~5000slpm
l 阀门种类：N/C（常闭型）
性能参数：
l 精度：±1.0%S.P.
l 重复精度：±0.2%F.S.
l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
l 工作范围：1%~100%F.S.
l 响应时间：≤700ms.,800ms
l 启动预热时间：1s
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高可靠性质量流量控制器